ETD-900離子濺射儀濺射電流不穩定故障的解決方法
離子濺射儀常見故障，分以下四種：
1、故障現象：使用一段時間后，濺射電流變小
解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現進行檢查。前兩者對靶材進行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
2、故障現象：在使用一段時間以后，有著過低的真空。
解決方法：對濺射室中或管道內是否有油進行檢查，能夠使用汽油進行清洗。
3、故障現象：濺射電流不穩定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉，對間距進行調整。
4、故障現象：有著過低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
轉載請注明出處：上海仰光電子科技專業伺服驅動器維修,伺服電機維修
本文鏈接：http://xdxxbc.com/fuwu/Services_Show17681.htm
伺服驅動器維修 伺服電機維修 觸摸屏維修 變頻器維修
聯系方式：
電話：021-50157782
手機：13817011982 微信同號
郵箱：shygdzi@163.com
聯系人：張工
網址：http://xdxxbc.com
【 我們確保修好測試好給客戶！！！！】
上一篇：Diener PICO 等離子清洗機真空泵過載故障排查方法
下一篇：沒有了
