等離子電源維修:太陽能光伏、PVD鍍膜,半導體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造設備以及科研院校、技術研究所等行業。
等離子電源常見問題及解決方法:
1.工作氣壓過低
等離子切割機工作時,如工作氣壓遠低于說明書所要求的氣壓,這意味著等離子弧的噴出速度減弱,輸入氣流小于所要求的值,此時不能形成高能量、高速度的等離子弧,從而造成切口質量差、切不透、切口積瘤的現象。氣壓不足的原因有:空壓機輸入空氣不足。切割機空氣調節閥調壓過低,電磁閥內有油污,氣路不通暢等。因此需要從這些方面逐個檢查,發現問題及時改善。
2.工作氣壓過高
若輸入空氣壓力過高,則在形成等離子弧后,過大的氣流會吹散集中的弧柱,使弧柱能量分散,減弱了等離子弧的切割強度。產生原因主要是:輸入空氣調節不當、空氣過濾減壓閥調節過高或者是空氣過濾減壓閥失效。
3.電極噴嘴等易損件安裝不當
電極噴嘴有螺紋的,需要擰緊到位。因噴嘴安裝不當,如絲扣未上緊,渦流環安裝不規范,都會造成切割不穩定,易損件過快損壞。
4.輸入交流電壓過低
調試使用前,檢查等離子切割機所接入電網是否有足夠的承載能力,電源線規格是否符合要求。等離子切割機安裝地點,應遠離大型用電設備和經常有電氣干擾的地方。
5.地線與工件接觸不良
接地是切割前一項必不可少的準備工作。未使用專用的接地工具,工件表面有絕緣物及長期使用老化嚴重的地線等,都會使地線與工件接觸不良。
6.切割速度和割槍夾持的垂直度
切割速度的快與慢,應當根據切割不同的材質和厚度,電流大小相符合。過快或者過慢,都會造成切割面不平,上下沿掛渣。另外,割槍夾持不垂直,噴出的等離子弧也是斜著噴出,也會造成切割面有斜度。
刻蝕(ET): LAM 9400、9600
AMAT CENTURA II&I
AMAT SEMVision G2
離子注入(DF):VARIAN
EATON(AXCELIS)
NISSIN
AMAT PI9500 9200
光刻(PH):NIKON NSR
ASML 5500
太陽能光伏PECVD: centrotherm(管式鍍膜)Roth&Rau(平板式鍍膜 德國)
服務品牌
AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射頻電源,HiTek power,Glassman、Spellman高壓電源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流電源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU
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